电容式压力变送器与扩散硅压力变送器的区别
点击次数：3208 发布时间：2021-05-26 02:21:05
压力变送器根据感压膜片的不同分为电容式、扩散硅式、单晶硅式和陶瓷式，本文主要讨论电容式和扩散硅式。
一、电容式压力变送器
原理：电容式压力变送器有一个可变电容的传感组件，该传感器是一个完全封闭的组件，过程压力、差压通过隔离膜片和灌充硅油传到传感膜片引起位移，传感膜片和两电容极板之间的电容差由电子部件转换成4-20ma电流信号。
简单的说，压力引起电容的变化。
其优点为：可以做到极低压力；抗过载能力强；精度高。缺点为：高压测量缺乏优势；传感器封装工艺要求高。
以压力变送器为例，电容式如下图所示：
二、扩散硅式压力变送器
扩散硅式压力变送器原理：被测介质的压力直接作用于传感器的扩散硅膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微小位移。在正常状态下，膜片*大位移不大于0.025mm，电子线路检测这一位移量后，即把这一位移量转化成4-20ma信号。
简单的说，压力引起电阻的变化。
超压时膜片直接贴到坚固的扩散硅上，由于膜片和基体的间隙只有0.1mm，因此过压时膜片的*大位移也只有0.1mm，所以从结构上保证了膜片不会产生过大的变形，该传感器具有很好的稳定性和高精度。
其优点是：稳定性高，每年优于0.1%FS；温度偏移小，由于取消了测量元件中的液体，因此传感器能够获得很高的精度；价格便宜。缺点是：低于0℃或高于85℃难以正常使用；不能承受动态压力；膜片易损坏；不适用20MPa以上的压力。
以压力变送器为例，扩散硅式如下图所示：
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